您是否面臨著“測(cè)量精度不足致產(chǎn)品報(bào)廢"“環(huán)境干擾引發(fā)數(shù)據(jù)漂移"“安裝適配難"“多軸/長(zhǎng)行程測(cè)量誤差累積"“定制化需求無法滿足"等困擾？PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號(hào)雙輸出，適配各類控制器，既可作為激光干涉儀獨(dú)立測(cè)量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制，解決航空航天、半導(dǎo)體制造、大型精密加工等B端場(chǎng)景中，“測(cè)量量程不足被迫分段檢測(cè)"“長(zhǎng)行程測(cè)量誤差累積"“產(chǎn)能擴(kuò)張后設(shè)備無法適配新需求"的問題。

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺是利用激光干涉的原理對(duì)位移進(jìn)行高精度測(cè)量輸出，完成實(shí)時(shí)控制的閉環(huán)應(yīng)用。是一種基于激光干涉測(cè)量原理的高精度、高靈敏度、高速度的位置檢測(cè)設(shè)備，主要功能是位移高精度測(cè)量，閉環(huán)控制。廣泛應(yīng)用在超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域中。

二、解決哪些測(cè)量痛點(diǎn)？

三、有哪些功能特點(diǎn)？

1、高分辨率數(shù)字正交信號(hào)輸出，分辨率達(dá)10nm（可外部拓展）。

2、高測(cè)量精度，線性測(cè)量精度達(dá)0.2~0.5ppm。

3、高穩(wěn)頻精度，可達(dá)0.02~0.05ppm。

4、測(cè)量范圍大，量程可達(dá)4m（可拓展）。

5、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測(cè)量設(shè)備，便于安裝，同時(shí)還可避免主機(jī)散熱對(duì)測(cè)量通路的影響。

6、輸出正交數(shù)字信號(hào)或1Vpp正余弦信號(hào)，可以適用于不同的控制器。

7、體積小巧，適合狹小空間安裝，可限度降低阿貝誤差。

8、即可作為激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量，也可用于閉環(huán)位置反饋控制。

9、多通道輸出，可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時(shí)測(cè)量及多自由度測(cè)量。

10、環(huán)境補(bǔ)償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動(dòng)監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù)，實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對(duì)激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺(tái)反饋控制。

航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)。

精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量。

科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制。

 五、服務(wù)與支持

定制化方案：根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配。

專業(yè)認(rèn)證：提供激光校準(zhǔn)證書，確保數(shù)據(jù)性。

服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：1年質(zhì)保，技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時(shí)響應(yīng)，快速解決現(xiàn)場(chǎng)問題。

如需了解PLR3000光纖激光尺參數(shù)細(xì)節(jié)、合作政策或獲取樣品測(cè)試，歡迎聯(lián)系中圖儀器！

注：產(chǎn)品參數(shù)隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實(shí)時(shí)更新，恕不另行通知。